Multibeamscanner – MBS-g4

Massive prozessbeschleunigung durch Parallelbearbeitung

Modulare Lösung für die
Parallelisierung von Laserprozessen

Ideal zur Prozessbeschleunigung bei der Herstellung von periodischen Strukturen oder zur parallelen Bearbeitung von gleichen Komponenten

Reduktion der Bearbeitungskosten durch effizientere Ausnutzung der verfügbaren Laserleistung

Reduktion der Produktionskosten durch massive prozessparallelisierung

Mit dem MultiBeamScanner(MBS) bietet Pulsar Photonics erstmalig eine Lösung für die Mehrstrahlbearbeitung mit einem Galvoscanner als kommerzielles Produkt an. Durch eine wählbare Strahlteilung mit einem Mehrstrahlmodul wird eine feste Strahlanordnung in der Bearbeitungsebene des Scansystems generiert. Dieser Ansatz erlaubt eine Vervielfachung der Prozessgeschwindigkeit bei der Herstellung periodischer Strukturen. Basierend auf einem diffraktiven Strahlteiler kann die Leistung des Lasersystems auf bis zu 100 Teilstrahlen und mehr aufgeteilt werden. Dies erlaubt es die meist physikalisch bedingten Leistungsbeschränkungen von vielen UKP-Prozessen zu überwinden und somit die Prozesseffizienz erheblich zu steigern. Anwendungsfelder liegen im Bereich des Laserbohrens, der Parallelbearbeitung von mehreren Bauteilen oder der generellen Parallelisierung von Laserprozessen.

Funktionsweise des MultiBeamScanners:

Die Funktionsweise des MultiBeamScanners basiert auf der Aufteilung eines Laserstrahls durch einen diffraktiven Strahlteiler. Mit diesem optischen Element können nahezu beliebige Anordnungen erzeugt werden, die durch eine hohe Homogenität und Gesamteffizienz überzeugen. Durch Kombination mit einem Galvanometerscanner können in der Bearbeitungsebene somit eine Vielzahl an Bearbeitungspunkten generiert werden, die durch den Scanner gleichzeitig über das Werkstück bewegt werden. Dies erlaubt eine effiziente parallele Herstellung von identischen Strukturen in einem Schritt.

Modulares Optiksystem für die hochproduktive Multistrahlbearbeitung

TECHNISCHE DATEN

Max. Abmessungen: (L x B X H): 638mm x 586mm x 185mm
Adressierbare Feldgröße mit DOE: Max. 5mm x 5mm @ f=100mm
Strahlverteilungen:
– z.B. 2×2, 4×4,…8 x8, freie Verteilungen
Galvanometer-Scanner: Hersteller: z.B. Scanlab, Newson, Raylase
Wellenlängen:
– IR (1030-1070nm)
– VIS (515nm/532nm)
– UV (343nm-355nm)
Geeignete Laserstrahlquellen:
– Nanosekunde / Pikosekunde / Femtosekunde
– Max. Leistung: 150 W
– Max. Pulsenergie: 1 mJ @ 1ps
Funktionen:
– Ausblendung von höheren Ordnungen
– integrierte Strahlagestabilsierung zur Sicherstellung der Justage
– Rotation der Strahlverteilung
– Feineinstellung spot pitch
– Umschalten zwischen Einzelstrahl – und Multistrahlbearbeitung
Spot position error:
– <3 µm @ f=100mm
Steuerungssoftware:
Software zur Justage, Kalibration und Steuerung des Systems
Kameraunterstützte Justage und Kalibration
Optionale Komponenten:
– Ext. Kamerasystem zur Intensitätsvermessung
Multibeam Scanner / Strahlteilung / Parallelbearbeitung Laser / Ultrakurzpulsaser / Lasermikrobearbeitung
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MultiBeam Scanner in der Anwendung

Periodische Strukturen

Herstellung von periodischen Strukturen
mit hoher Prozessgeschwindigkeit

  • Herstellung von periodischen Strukturen mit höchster Präzision
  • Bohren mit extrem hohen Durchsätzen von mehr als 14kHz
  • Herstellung von Beschichtungsmasken und Ätzmasken
  • Großflächige Herstellung von Mikrofiltern

Funktionale Oberflächen

Kontrolle über Fließeigenschaften, Reibung und
Anhaftung mittels Mikrostrukturen

  • Maßgeschneiderte Eigenschaften für hochbeanspruchte Teile
  • Reibungsminimierung und gezielte Schmierung
  • Gezielte Veränderung der Haftung und Benetzbarkeit
  • Lichtleitstrukturen für Beleuchtungsanwendungen
process efficiency

Prozesseffizienz

Steigerung der Prozesseffizienz und Wirtschaftlichkeit
durch optimale Nutzung von Ressourcen


  • Effizientere Ausnutzung der verfügbaren Laserleistung
  • Vervielfachung der Prozessgeschwindigkeit
  • Massive Parallelisierung der Produktion
  • Reduktion der Bearbeitungskosten
Louisa Draack, Technischer Vertrieb, Pulsar Photonics, Auftragsfertigung, Beratung, Laser

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Louisa Draack
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